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J-GLOBAL ID：201703012688232321

レーザー走査顕微鏡装置

Inventor： 眞柄 宏司 ,  大塚 洋一 ,  教學 正文 ,  橋本 浩行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016020932
Publication number (International publication number)：2016206648
Application date： Feb. 05, 2016
Publication date： Dec. 08, 2016
Summary：

【課題】 レーザー走査顕微鏡装置において、画像データを取得するために要する時間を、合焦動作を逐一行って広域の画像データを取得する場合と比較して短縮する。【解決手段】 レーザー走査顕微鏡装置100は、レーザー光を集光して試料6に照射する照射部1と、照射位置から発せられる光を検出する光検出部3と、レーザー光をX方向およびY方向に走査するXY走査手段と、Z方向に走査するZ走査手段と、を有し、照射位置から試料6に関する情報を取得する。レーザー顕微鏡装置100は、照射位置をXY走査手段によってX方向およびY方向に走査してXY二次元画像データを取得する際に、Z走査手段によって照射位置をZ方向にも走査して光を検出することで、Z座標の異なる照射位置から発せられた前記光の情報がそれぞれ格納された少なくとも2つの画素を含むXY二次元画像データを取得する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

レーザー光を対物レンズによって集光して試料に照射する照射部と、 集光して照射される前記レーザー光の前記照射位置から発せられる光を検出する光検出部と、 前記照射部によって前記試料に照射する前記レーザー光を、前記対物レンズの光軸方向に垂直なX方向ならびに前記光軸方向および前記X方向に垂直なY方向に走査するXY走査手段と、を有するレーザー走査顕微鏡装置であって、 前記照射部によって前記試料に照射する前記レーザー光を、前記対物レンズの光軸方向と平行なZ方向に走査するZ走査手段を有し、 前記XY走査手段によって前記照射位置を前記X方向および前記Y方向に走査しつつ前記光を検出して、検出した前記光の情報が前記照射位置のX座標およびY座標に対応する画素ごとに格納されたXY二次元画像データを取得する際に、前記Z走査手段によって前記照射位置をZ方向にも走査しつつ前記光を検出することで、Z座標の異なる照射位置から発せられた前記光の情報がそれぞれ格納された少なくとも2つの画素を含むXY二次元画像データを取得することを特徴とするレーザー走査顕微鏡装置。

IPC (1)：

G02B 21/06

FI (1)：

G02B21/06

F-Term (13)：

2H052AA07 ,  2H052AB01 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD03 ,  2H052AD06 ,  2H052AD20 ,  2H052AD34 ,  2H052AF02 ,  2H052AF21