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J-GLOBAL ID:201703013099707650
塗布装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016011435
Publication number (International publication number):2017131797
Application date: Jan. 25, 2016
Publication date: Aug. 03, 2017
Summary:
【課題】幅方向に高精度に均一な塗布が可能なダイであり、濡れ広がりによる塗布後の局所的な端部膜厚低減が起きても均一な塗布面を作成することが出来る塗布装置を提供する。【解決手段】ダイヘッド本体1と、ダイヘッド本体1の内部に形成されたマニホールド3と、マニホールド3の長手方向の中間部に設けられ塗工液が供給される供給口2と、マニホールド3に連通されたスリット4とを備えたダイヘッドを有する塗布装置であって、マニホールド3はマニホールド3長手方向に断面積一定であり、マニホールド3の長手方向における両端部付近で、マニホールド3の上部を仕切る上壁部とスリット4の上端開口が、水平方向に対して傾斜があることを特徴とする塗布装置。【選択図】図1
Claim (excerpt):
塗工液を基材に塗工するダイヘッドを有する塗布装置であって、
前記ダイヘッドは、ダイヘッド本体と、前記ダイヘッド本体の内部に端部付近を除いて水平方向に延在形成されたマニホールドと、前記マニホールドの長手方向の中間部に設けられ前記塗工液が供給される供給口と、前記マニホールドに連通されたスリットとを備え、
前記スリットは、垂直方向の上端の上端開口が、前記マニホールドに連通し、前記垂直方向の下端の下端開口が前記ダイヘッド本体の下端に開口しており、
前記マニホールドは前記マニホールド長手方向に断面積一定であり、前記マニホールドの長手方向における両端部付近において、前記マニホールドの上部を仕切る上壁部と前記スリットの上端開口が、水平方向に対して下方向への傾斜があることを特徴とする塗布装置。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (5):
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA12
, 4F041CA02
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