Pat

J-GLOBAL ID：201703014383772833

酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法

Inventor： 杉村 渉 ,  藤原 俊幸
Applicant, Patent owner： 株式会社SUMCO
Agent (2)： 杉村 憲司 ,  川原 敬祐
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015186988
Publication number (International publication number)：2017061396
Application date： Sep. 24, 2015
Publication date： Mar. 30, 2017
Summary：

【課題】ルツボからの不純物の混入がなく、安価に酸化ガリウム単結晶を育成することを実現できる酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液30を保持するルツボ100であって、酸化ガリウム鋳塊10からなる本体部と、該本体部の周囲に付与した酸化ガリウム粉末の成型体と、を有するルツボ100し、ルツボ100を用いて酸化ガリウム融液30を保持する工程と、酸化ガリウム融液30にシード50を接触させて、シード50を引き上げて、シード50の下端に酸化ガリウム単結晶を育成させる工程とを有する酸化ガリウム単結晶の製造方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液を保持するルツボであって、 酸化ガリウムから構成されることを特徴とするルツボ。

IPC (2)：

C30B 15/00 ,  C30B 29/16

FI (2)：

C30B15/00 P ,  C30B29/16

F-Term (5)：

4G077AA02 ,  4G077BB10 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077PD02