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J-GLOBAL ID：201703014686321966

試料観察方法

Inventor： 大南 祐介 ,  許斐 麻美 ,  伊東 祐博 ,  大瀧 智久 ,  河西 晋佐
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (1)： 戸田 裕二
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015199039
Publication number (International publication number)：2016001629
Patent number：6118870
Application date： Oct. 07, 2015
Publication date： Jan. 07, 2016
Claim (excerpt)：

【請求項1】 荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、真空室と、試料が格納される試料室とを有する荷電粒子線装置を用いた試料観察方法であって、 前記荷電粒子線を透過する薄膜によって前記試料室を前記真空室より圧力が高い状態に維持し、 前記薄膜の下面の高さと光学顕微鏡の鏡筒の下端の高さとの関係を求め、 前記試料と前記鏡筒との距離を測定し、 前記距離と前記関係に基づいて、前記試料と前記薄膜との距離を設定する、試料観察方法。

IPC (3)：

H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01) ,  H01J 37/18 ( 200 6.01)

FI (3)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/18