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J-GLOBAL ID：201703014832802521
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
謝 卓峰
, 元山 忠行
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2016556984
Publication number (International publication number)：2017508161
Application date： Mar. 10, 2015
Publication date： Mar. 23, 2017
Summary：
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法(SICM)を用いて、電解液に浸された試料の表面を調べる方法は、イオン電流を前記電解液内に誘導するために、前記電解液に浸された第1電極と第2電極との間の電位を制御する工程を含む。前記第1電極の電解液に浸された部分は、マイクロピペット内に含まれ、前記第2電極は、前記マイクロピペットの外部にある。前記方法は、さらに、試料を支持するステージに対してマイクロピペットが動くように制御しながら前記イオン電流を記録する工程と、イオン電流及び較正データから、前記試料の表面高さの分析結果を決定する工程を含む。前記電位は、スペクトル拡散変調信号によって制御することができる。前記マイクロピペットの動作は、前記マイクロピペットと、前記第1電極と、前記マイクロピペットのZ軸方向の動作を制御する第1圧電アクチュエータとの組み合わせの共振周波数より大きい変調周波数を有するACモードのパターンに従うことができる。
Claim (excerpt)：
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法を用いて、電解液に浸された試料の表面を調べる方法であって、
スペクトル拡散変調信号を用いてイオン電流を前記電解液内に誘導するために、マイクロピペット内で前記電解液に浸された第1電極と、前記マイクロピペット外の第2電極との間の電位を制御し、
前記試料を支持するステージに対して前記マイクロピペットが動くように制御している間の前記イオン電流を記録し、
前記記録されたイオン電流を復調し、
復調されたイオン電流及び較正データから、前記試料の表面高さプロファイルを決定する、方法。
IPC (1)：
FI (1)：
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