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J-GLOBAL ID:201703015584786685

微小構造物検出装置及び方法並びに検出用ディスク

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2013022522
Publication number (International publication number):2014153165
Patent number:6120310
Application date: Feb. 07, 2013
Publication date: Aug. 25, 2014
Claim (excerpt):
【請求項1】 トラッキングをとるためのトラック構造を有する基板上に薄膜層を設けたディスクであって、 複数のトラックに、前記ディスクの半径方向にわたって整列する光読み取り可能なマーカーが形成され、 前記薄膜層は、窒化物、酸化物、炭化物、硫化物のうちのいずれかの単層又は複数層からなり、 前記マーカーと、微小構造物が付着する前記薄膜層の表面とが、一の検出用光の焦点深度内に位置することを特徴とする微小構造物検出用ディスク。
IPC (1):
G01N 21/27 ( 200 6.01)
FI (1):
G01N 21/27 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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