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J-GLOBAL ID：201703015775663567

高周波電磁界測定装置

Inventor： 遠藤 恭 ,  山口 正洋 ,  島田 寛 ,  室賀 翔
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (2)： 須田 篤 ,  楠 修二
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2013074059
Publication number (International publication number)：WO2014147866
Application date： Sep. 06, 2013
Publication date： Sep. 25, 2014
Summary：

【課題】高周波信号の入力により発生する高周波磁界による影響と高周波電界による影響とを分離可能で、高精度で高周波磁界を測定することができる高周波電磁界測定装置を提供する。【解決手段】磁気力センサ21が、磁気力顕微鏡11のカンチレバーから成り、磁界を検出可能である。電流線12が、コイルから成り、測定対象物1に近接して配置されている。搬送波導入手段13が、測定対象物1に高周波の搬送波信号を入力し、参照波導入手段14が、電流線12に高周波の参照波信号を入力するよう構成されている。また、搬送波導入手段13から測定対象物1に搬送波信号を入力するときの電位と、磁気力センサ21の電位とが等しくなるよう構成されている。磁気力顕微鏡11は、測定対象物1を載せる載置台22と、磁気力センサ21の変位を測定する変位測定手段23と、磁気力センサ21を走査させる走査手段24とを有している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

高周波信号を入力された測定対象物が発する高周波磁界を測定するための高周波電磁界測定装置であって、 磁気的作用による振動を利用して磁界を検出可能な磁気力センサと、 前記測定対象物に近接して配置された電流線と、 前記測定対象物に高周波の搬送波信号を入力する搬送波導入手段と、 前記電流線に高周波の参照波信号を入力可能であり、入力する前記参照波信号の周波数を変更可能に構成された参照波導入手段とを有し、 前記搬送波導入手段から前記測定対象物に前記搬送波信号を入力するときの電位と、前記磁気力センサの電位とが等しくなるよう構成されていることを 特徴とする高周波電磁界測定装置。

IPC (2)：

G01R 29/08 ,  G01R 31/302

FI (3)：

G01R29/08 D ,  G01R29/08 F ,  G01R31/28 L

F-Term (3)：

2G132AB10 ,  2G132AF16 ,  2G132AL11