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J-GLOBAL ID：201703015782111669

ビーム生成ユニットおよびX線小角散乱装置

Inventor： 表 和彦 ,  伊藤 和輝
Applicant, Patent owner： 株式会社リガク
Agent (2)： 福地 武雄 ,  白川 洋一
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2015052879
Publication number (International publication number)：WO2015146287
Application date： Feb. 02, 2015
Publication date： Oct. 01, 2015
Summary：

コンパクトな構成でかつ高い信号バックグラウンド比で非等方の像を同時に撮れる微小ビーム生成ユニットおよびX線小角散乱装置を提供する。1次元検出器または2次元検出器により回折X線を検出するため、試料に照射する微小なスポットサイズのX線を生成する微小ビーム生成ユニット110であって、X線光路上に設けられ、X線を平行ビームに整形するスリット115と、(+,-,-,+)に配置され、スリットで整形された平行ビームの寄生散乱を除去する2個のチャンネルカットモノクロメータ結晶117、118と、を備える。これにより、コンパクトな構成でかつ高い信号バックグラウンド比で非等方の像を同時に得ることができる。

Claim (excerpt)：

散乱X線または回折X線を検出するため、試料に照射するX線を生成するビーム生成ユニットであって、 X線光路上に設けられ、X線のビーム形状を整形するスリットと、 (+,-,-,+)に配置され、前記スリットで整形された平行ビームの寄生散乱を除去し、平行かつ微小なX線ビームを生成する2個のチャンネルカットモノクロメータ結晶と、を備えることを特徴とするビーム生成ユニット。

IPC (3)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/201 ,  G21K 1/06

FI (5)：

G01N23/20 310 ,  G01N23/201 ,  G21K1/06 S ,  G21K1/06 M ,  G21K1/06 L

F-Term (8)：

2G001AA01 ,  2G001BA14 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA01 ,  2G001EA03 ,  2G001GA01