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J-GLOBAL ID:201703015862806366
表面特性測定方法、表面特性測定装置、及び表面特性測定プログラム
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (2):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016175317
Publication number (International publication number):2017064391
Application date: Sep. 08, 2016
Publication date: Apr. 06, 2017
Summary:
【課題】物質の表面特性を精度良く評価することのできる表面特性測定技術を提供する。【解決手段】表面特性測定方法は、測定対象物に超音波を照射して前記測定対象物からの反射信号を取得し、測定装置にて前記測定対象物からの反射信号と、あらかじめ取得した参照物質からの参照反射信号との相互相関関数の最大値を計算し、前記相互相関関数の最大値を用いて界面での反射成分を計算し、前記反射成分と前記参照反射信号の比較結果に応じて、前記測定対象物の音響インピーダンスと前記参照物質の音響インピーダンスのいずれか一方を測定値として出力する。【選択図】図6
Claim (excerpt):
測定対象物に超音波を照射して前記測定対象物からの反射信号を取得し、
測定装置にて、前記測定対象物からの反射信号と、あらかじめ取得した参照物質からの参照反射信号との相互相関関数の最大値を計算し、
前記相互相関関数の最大値を用いて界面での反射成分を計算し、
前記反射成分と前記参照反射信号の比較結果に応じて、前記測定対象物の音響インピーダンスと前記参照物質の音響インピーダンスのいずれか一方を測定値として出力する、
ことを特徴とする表面特性測定方法。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (6):
4C601BB09
, 4C601DD19
, 4C601JB40
, 4C601JB41
, 4C601JC23
, 4C601LL40
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