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J-GLOBAL ID：201703016539717709

周波数測定装置、及び周波数測定方法

Inventor： 川▲崎▼ 和彦 ,  稲場 肇 ,  洪 鋒雷
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013064812
Publication number (International publication number)：2014190759
Patent number：6052672
Application date： Mar. 26, 2013
Publication date： Oct. 06, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 光周波数コム装置と、 周波数可変で、かつ、当該周波数に応じて発振モードが高次から低次に、あるいは低次から高次に変化するモード移行周波数を有する周波数可変レーザ装置と、 前記発振モードを観測する手段と、 前記光周波数コム装置と前記周波数可変レーザ装置とからの出力光を干渉させた際に得られる第一ビート周波数を計測する手段と、 測定対象レーザ装置と前記周波数可変レーザ装置とからの出力光を干渉させた際に得られる第二ビート周波数を計測する手段と、を備え、 前記周波数可変レーザ装置の発振周波数を変化させた際の前記発振モードの観測結果に基づいて、前記第一ビート周波数を計測する際の前記光周波数コム装置からの出力光のモード次数を特定し、前記モード次数と、計測された前記第一ビート周波数及び前記第二ビート周波数とに基づいて、前記測定対象レーザ装置の発振周波数を測定する ことを特徴とする周波数測定装置。

IPC (2)：

G01J 9/02 ( 200 6.01) ,  H01S 3/00 ( 200 6.01)

FI (3)：

G01J 9/02 ,  H01S 3/00 F ,  H01S 3/00 G