Pat
J-GLOBAL ID：201703017846290611

プラズマ反応器及びプラズマ電極板

Inventor：
庭屋 直生

About 庭屋 直生

, 
灘浪 紀彦

About 灘浪 紀彦

, 
坂井 茂仁

About 坂井 茂仁


Applicant, Patent owner：
日本特殊陶業株式会社

About 日本特殊陶業株式会社


Agent (1)： 渥美 久彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015240209
Publication number (International publication number)：2017107717
Application date： Dec. 09, 2015
Publication date： Jun. 15, 2017
Summary：
【課題】隣接する電極板間での電界強度の低下を防止することにより、プラズマを確実に発生させることができるプラズマ反応器を提供すること。【解決手段】本発明のプラズマ反応器は、誘電体23に電極24を内蔵してなる電極板20を、互いに隙間を有するように積層配置することにより構成され、隣接する電極板20間に電圧が印加されたときにプラズマを発生する。電極24には、電極24の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔33が設けられる。誘電体23は、電極24の外表面に沿うようにして電極24を覆っており、主面21及び裏面22に凹凸51,61を有している。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
主面及び裏面を有する板状の誘電体に電極を内蔵してなる複数の電極板が、互いに隙間を有するように積層配置され、隣接する前記電極板間に電圧が印加されたときにプラズマを発生するプラズマ反応器であって、 前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、 前記誘電体は、前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有している ことを特徴とするプラズマ反応器。
IPC (4)：
H05H 1/24 ,  F01N 3/08 ,  F01N 3/01 ,  B01D 53/92
FI (7)：
H05H1/24 ,  F01N3/08 C ,  F01N3/01 ,  B01D53/92 242 ,  B01D53/92 280 ,  B01D53/92 222 ,  B01D53/92 300
F-Term (34)：
2G084AA18 ,  2G084BB06 ,  2G084BB21 ,  2G084BB36 ,  2G084CC08 ,  2G084CC19 ,  2G084CC34 ,  2G084DD01 ,  2G084DD15 ,  2G084DD21 ,  2G084DD22 ,  2G084DD25 ,  2G084DD32 ,  2G084DD63 ,  2G084DD64 ,  2G084DD68 ,  3G091AA02 ,  3G091AB14 ,  3G091BA01 ,  3G091BA13 ,  3G091BA14 ,  3G091BA15 ,  3G091BA19 ,  3G190AA02 ,  3G190BA01 ,  3G190CA21 ,  4D002AA08 ,  4D002AA12 ,  4D002AA40 ,  4D002AC10 ,  4D002BA07 ,  4D002BA14 ,  4D002GA01 ,  4D002GB20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM