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J-GLOBAL ID：201703018526121710

樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料及びその製造方法

Inventor： 益田 秀樹 ,  近藤 敏彰 ,  豊永 隆 ,  木村 直史 ,  吉岡 文孝
Applicant, Patent owner： 公立大学法人首都大学東京 ,  オキツモ株式会社
Agent (3)： 赤岡 和夫 ,  赤岡 迪夫 ,  吉岡 亜紀子
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2015060447
Publication number (International publication number)：WO2015190163
Application date： Apr. 02, 2015
Publication date： Dec. 17, 2015
Summary：

マイクロキャビティを区画するキャビティ壁上部の表面粗さが抑制されており、又は3.0より大きなアスペクト比を有するマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料の製造方法を提供することを目的とする。樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料において、予め一の面に所定の開口を有するマスクを密着させておくか、或いはマイクロキャビティの位置に対応して配列された突起を有する押し型を押し付けることによって予め一面に凹部を形成させた基材に対して異方性エッチングを施すことにより、マイクロキャビティを区画するキャビティ壁上部の表面粗さが抑制されており、又はアスペクト比が3.0より大きなマイクロキャビティを有する波長選択性熱放射材料を提供する。

Claim (excerpt)：

樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料であって、 前記波長選択性熱放射材料は、周期的に繰り返され且つ格子状に二次元配列される矩形の開口を有する多数のマイクロキャビティが形成された熱放射面を有しており、そして 前記マイクロキャビティは、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.5〜0.9の範囲であり、且つ前記マイクロキャビティを区画するキャビティ壁上部の表面粗さRzが1μm以下であることを特徴とする波長選択性熱放射材料。

IPC (4)：

H01L 23/373 ,  C25F 3/20 ,  C25F 3/02 ,  H01L 23/36

FI (4)：

H01L23/36 M ,  C25F3/20 ,  C25F3/02 C ,  H01L23/36 D

F-Term (5)：

5F136BA36 ,  5F136BB18 ,  5F136FA02 ,  5F136FA88 ,  5F136GA40