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J-GLOBAL ID：201703018846544008

シリコン微粉末の製造方法、及び窒化シリコン微粉末の製造方法

Inventor： 池内 正彦 ,  下司 辰郎 ,  山本 豊大 ,  川田 誠 ,  高石 大吾 ,  稲田 博文 ,  荒川 裕也 ,  門野 純一郎 ,  南 秀明
Applicant, Patent owner： 株式会社TKX ,  地方独立行政法人京都市産業技術研究所
Agent (2)： 楠本 高義 ,  三雲 悟志
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016559451
Patent number：6077193
Application date： Apr. 11, 2016
Summary：

【課題】シリコンインゴットをスライス加工する際に発生するシリコンの切削屑から、ボールミルやジェットミルなどの機械的破砕手段を用いることなく、高純度の鱗片状シリコン微粉末の採取を可能とするシリコン微粉末の製造方法を提供する。更にその鱗片状シリコン微粉末を出発原料とする窒化シリコン微粉末の製造方法を提供する。 【解決手段】水酸化アルミニウムを含む固定板4に固定したシリコンインゴット3を、固定砥粒ワイヤーソー2で切断し、シリコン切削粉、不純物及びクーラント液を含むスラリーとして回収する。回収したスラリーを固液分離して、シリコン切削粉と不純物を含むケーキ18を取りだす。そのケーキ18を50〜90°Cに加熱した1〜40重量%の硫酸を含む硫酸水溶液にて20〜60分浸漬攪拌して洗浄する。

Claim (excerpt)：

【請求項1】 シリコンインゴット及びワイヤー外周面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤーソーと、シリコンインゴット取付用の、水酸化アルミニウムの粉末または水酸化マグネシウムの粉末をバインダー樹脂で固めて形成された固定板と、を準備する準備工程と、 前記固定板に、前記シリコンインゴットを固定する固定工程と、 前記固定砥粒ワイヤーソーを用い、前記シリコンインゴットをスライスし、前記シリコンインゴットを切断するときに、前記固定板の一部を切削し、その時の切削熱による固定板内のバインダー樹脂の軟化あるいは燃焼を、前記水酸化アルミニウムまたは前記水酸化マグネシウムの脱水分解による吸熱反応と前記脱水分解により生成される水の蒸発熱と、により防ぐスライス工程と、 前記スライス工程で発生するシリコン切削屑を含むスラリーを回収するスラリー回収工程と、 前記スラリーから前記シリコン切削屑を含むケーキを固液分離手段により分離して取り出す固液分離工程と、 前記固液分離工程で得られたケーキを洗浄液で洗浄する洗浄工程と、 前記洗浄工程後に固液分離して得られた固形分を、乾燥手段にて乾燥する乾燥工程と、 を備えるシリコン微粉末の製造方法。

IPC (6)：

C01B 33/021 ( 200 6.01) ,  C01B 21/068 ( 200 6.01) ,  B24B 55/08 ( 200 6.01) ,  B24B 27/06 ( 200 6.01) ,  B24D 11/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (7)：

C01B 33/021 ,  C01B 21/068 D ,  B24B 55/08 Z ,  B24B 27/06 H ,  B24B 27/06 D ,  B24D 11/00 G ,  H01L 21/304 611 W