高品質グラフェンの連続製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：志賀正武 , 佐伯義文 , 寺本光生 , 鈴木三義 , 鈴木慎吾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017054079
Publication number (International publication number)：2017171570
Application date： Mar. 21, 2017
Publication date： Sep. 28, 2017
Summary：

【課題】製造コストおよび不要な表面トポグラフィーの両方を低減させる一方で、高品質かつ高表面積のグラフェンを製造する方法が必要である。【解決手段】金属基板を使用してグラフェンフィルムを製造するための連続的方法であって、金属基板の第1の表面の上部層が溶融して溶融金属層を形成するように金属基板の第1の表面を加熱する方法、および該方法を実施するための装置。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

グラフェンを含むフィルムを調製する連続的方法であって、金属基板を提供する段階と、 1つまたは複数の加熱要素および1つまたは複数のガス供給部品を備える処理チャンバ内に前記金属基板を連続的に進入させて通過させる段階と、前記金属基板を加熱して前記金属基板の上面上に溶融金属層を形成する段階と、前記溶融金属層に炭素源ガスを接触させて前記金属基板の上面の前記溶融金属層を実質的に被覆するグラフェン含有層を形成する段階と、前記溶融金属層を固化させる段階と、前記グラフェン含有層を有する前記金属基板を前記処理チャンバから取り出す段階と、前記グラフェン含有層を分離してグラフェンを含有するフィルムを形成する段階と、を含む、方法。

IPC (2)：

C01B 32/186 , C01B 32/194

FI (2)：

C01B32/186 , C01B32/194

F-Term (29)：

4G146AA01 , 4G146AB07 , 4G146BA01 , 4G146BA11 , 4G146BA12 , 4G146BA13 , 4G146BA48 , 4G146BB23 , 4G146BC01 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC25 , 4G146BC26 , 4G146BC34A , 4G146BC34B , 4G146BC38B , 4G146BC41 , 4G146BC43 , 4G146BC48 , 4G146CB29 , 4G146DA03 , 4G146DA22 , 4G146DA23 , 4G146DA26 , 4G146DA27 , 4G146DA35 , 4G146DA36 , 4G146DA40 , 4G146DA43

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

グラフェンの製造方法及びグラフェン製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-149784 Applicant：ソニー株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Formation of Ripples in Graphene as a Result of Interfacial Instabilities

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