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J-GLOBAL ID:201801006539608980   Update date: Oct. 31, 2024

Jinnai Butsurin

Jinnai Butsurin
Research theme for competitive and other funds  (2):
  • 2019 - 2022 極微細スピントロニクスデバイスにおける微細構造表面の磁気特性評価とその制御
  • 2009 - 2010 プラズマエッチングプロセス表面反応解析に関する研究
Papers (31):
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MISC (1):
  • 陣内佛霖, 五十嵐純太, 渡部杏太, 深見俊輔, 大野英男. 極微細高性能磁気トンネル接合素子の開発と5G/6G時代 への展望. セラミックス. 2021. 56. 6. 418-422
Patents (3):
  • System, method and apparatus for ion milling in a plasma etch chamber
  • Waferless Auto Conditioning
  • Layer-layer etch of non volatile materials
Professional career (1):
  • Ph.D. (Tohoku University)
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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