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J-GLOBAL ID：201802211310242727   Reference number：18A0118338

Wettability improvement of thin gate dielectrics by mixture of self-assembled monolayers

自己組織化分子の混合による極薄絶縁膜の濡れ性改善

Author (6)： KURIBARA KAZUNORI (産総研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  HIGASHINO HIDEKI (産総研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  NOBESHIMA TAIKI (産総研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  KOZASA TAKEHITO (産総研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  UEMURA SEI (産総研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ) ,  YOSHIDA MANABU (産総研 フレキシブルエレクトロニクス研究セ)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 117  Issue： 334(OME2017 35-48)  Page： 15-18  Publication year： Nov. 24, 2017 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *monomolecular layer ,  *self-organizing ,  voltage ,  *wetting(liquid) ,  *painting and coating ,  ultrathin film ,  *insulating film ,  *mixing ,  *contact angle ,  chemical machining ,  hydrophilicity ,  mixture ratio ,  mobility(ratio) ,  electronics ,  *flexible circuit board ,  semiconductor thin film ,  *thin film growth ,  backing(filling) ,  molecular structure ,  end group ,  Kekule structure ,  *aromatic compound
Semi thesaurus term： *self-assembled monolayer ,  electrical low voltage ,  hydrophilization ,  flexible electronics ,  benzene ring

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (14)：

• Kenjiro Fukuda, Yasunori Takeda, Yudai Yoshimura, Rei Shiwaku, Lam Truc Tran, Tomohito Sekine, Makoto Mizukami, Daisuke Kumaki & Shizuo Tokito, ′′Fully-printed high-performance organic thin-film transistors and circuitry on one-micron-thick polymer films′′ Nature Commn. 5(4147) pp1-4, May(2014).
• Atsuo Inoue, Tatsuyoshi Okamoto, Masatoshi Sakai, Shigekazu Kuniyoshi, Hiroshi Yamauchi, Masakazu Nakamura, Kazuhiro Kudo, ′′Flexible organic field-effect transistor fabricated by thermal press process′′ Phys. Status Solidi A 210,(7),pp1353-1357 March (2013).
• 高誘電材料塗布デバイス
• Pollawat Prisawong, Peter Zalar, Amir Reuveny, Naoji Matsuhisa, Wonryung Lee, Tomoyuki Yokota, Takao Someya ′′ Vacuum Ultraviolet Treatment of Self-Assembled Monolayers: A Tool for Understanding Growth and Tuning Charge Transport in Organic Field-Effect Transistors′′ Adv. Mater. 28, pp2049-2054, Jan.(2016).
• Seung Hwan Ko, Jaewon Chung, Heng Pan, Costas P.Grigoropoulos, Dimos Poulikakos, ′′Fabrication of multilayer passive and active electric components on polymer using inkjet printing and low temperature laser processing′′ Sensors and Actuators A 134(1), pp161-168, Feb.(2007).

Terms in the title (4)： 自己組織化 ,  分子 ,  絶縁膜 ,  濡れ性