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J-GLOBAL ID：201802222530577064   Reference number：18A1417265

ダイシングした圧電素子を用いる気相複合探触子の開発

Author (5)： TSUJI TOSHIHIRO (東北大) ,  KITAHARA DAITARO (東北大) ,  TANAKA YASUHIRO (東北大) ,  OHARA YOSHIKAZU (東北大) ,  MIHARA TSUYOSHI (東北大)
Material： 超音波Techno  (超音波テクノ)
Volume： 30  Issue： 4  Page： 80-84  Publication year： Aug. 01, 2018 
JST Material Number： L2344A  ISSN： 0916-2410  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *piezoelectric device ,  *array ,  *probe (instrumentation element) ,  *nondestructive inspection ,  *ultrasonic wave ,  system ,  acoustic impedance ,  impedance matching ,  displacement (transfer) ,  spectrum ,  Air ,  resonance (vibration) ,  frequency (Hz) ,  *ultrasonic flaw detection ,  lead zirconate titanate ,  *aerial ultrasonic waves ,  amplitude spectrum ,  surface displacement ,  *instrumentation element
Semi thesaurus term： PZT ,  design guide ,  *ultrasonic search unit

JST classification (2)： Piezoelectric devices  (NC03110I) ,  Nondestructive testing  (HB02030F)

Terms in the title (5)： ダイシング ,  圧電素子 ,  気相 ,  探触子 ,  開発