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J-GLOBAL ID：201802227911765250   Reference number：18A2223536

空中超音波計測のためのダイシングした圧電素子を用いる気相複合探触子の開発

Author (5)： TSUJI TOSHIHIRO (東北大 大学院工学研究科) ,  KITAHARA DAITARO (東北大 大学院工学研究科) ,  TANAKA YASUHIRO (東北大 大学院工学研究科) ,  OHARA YOSHIKAZU (東北大 大学院工学研究科) ,  MIHARA TSUYOSHI (東北大 大学院工学研究科)
Material： 日本非破壊検査協会秋季講演大会講演概要集
Volume： 2017  Page： 3-4  Publication year： Oct. 05, 2017 
JST Material Number： L1257B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *piezoelectric device ,  ultrasonic measurement ,  *probe(instrumentation element) ,  pulsation(signal) ,  *gas ,  acoustic wave propagation ,  trial manufacture ,  acoustic transmission ,  pulse wave ,  ultrasonic wave
Semi thesaurus term： ultrasonic search unit ,  acrylic plate ,  *気相複合接触子 ,  equipment development ,  piezo-composite ,  aerial ultrasonic waves ,  dicing

JST classification (2)： Piezoelectric devices  (NC03110I) ,  Excitation and generation of sounds  (BB03020V)

Terms in the title (7)： 空中超音波 ,  計測 ,  ダイシング ,  圧電素子 ,  気相 ,  探触子 ,  開発