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J-GLOBAL ID：201802234055912276   Reference number：18A1699195

大気圧熱プラズマジェット照射による溶融シリコン内温度分布の可視化

Author (3)： MIZUKAWA YURI (広大 院 先端研) ,  HANAFUSA HIROAKI (広大 院 先端研) ,  HIGASHI SEIICHIRO (広大 院 先端研)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 79th  Page： ROMBUNNO.20a-233-1  Publication year： Sep. 05, 2018 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma jet ,  *plasma heating ,  *silicon ,  *melting ,  *temperature distribution ,  *visualization
Semi thesaurus term： *atmospheric pressure plasma jet ,  *溶融シリコン

JST classification (1)： Thermometry,thermometer  (AD06010K)

Terms in the title (5)： 大気圧 ,  プラズマジェット ,  溶融シリコン ,  温度分布 ,  可視化