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J-GLOBAL ID：201802237155869695   Reference number：18A1565216

タッピングモードAFMにおける補間を用いた表面形状オブザーバの提案(出力飽和中における表面形状推定の改善)

Author (2)： SHIRAISHI TAKAYUKI (鹿児島工高専) ,  WATANABE SO (鹿児島工高専)
Material： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
Volume： 2017  Page： ROMBUNNO.S1610106  Publication year： Sep. 02, 2017 
JST Material Number： X0587C  ISSN： 2424-2667  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,  *morphology (form) ,  system observer ,  *interpolation method ,  *estimation ,  *surface profile ,  *tapping mode AFM
Semi thesaurus term： *AFM (microscope) ,  system observer ,  *interpolation

JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Terms in the title (7)： タッピングモードAFM ,  補間 ,  表面形状 ,  オブザーバ ,  提案 ,  飽和 ,  推定