Art

J-GLOBAL ID：201802242342986822   Reference number：18A0504590

TiO₂/TiN混合ターゲットを用いたRFスパッタリングで作製したN添加TiO₂多結晶薄膜の配向性の変化

Author (3)： EMA YOSHINORI (静岡大 工) ,  TAKAYAMA AKIHIRO (静岡大 工) ,  TAKAHASHI TAKAHIRO (静岡大 工)
Material： 電子情報通信学会論文誌 C(Web)
Volume： J100-C  Issue： 12  Page： 619-622 (WEB ONLY)  Publication year： Dec. 01, 2017 
JST Material Number： U0472A  ISSN： 1881-0217  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *titanium oxide ,  doping ,  titanium compound ,  nitride ,  target ,  RF sputtering ,  thin film ,  crystal orientation ,  *photocatalyst ,  mixture ratio
Semi thesaurus term： titanium dioxide ,  crystal orientation ,  polycrystalline thin film ,  titanium nitride ,  nitrogen doping

JST classification (1)： Photochemistry in general  (CB08010U)

Reference (9)：

• R. Asahi, T. Morikawa, T. Ohwaki, K. Aoki, and Y. Taga, “Visible-light photocatalysis in nitrogen-doped titanium oxides,” Science, vol.293, pp.269-271, July 2001.
• 竹内雅人,安保正一,“イオン工学技術を利用した可視光応答型酸化チタン薄膜光触媒の開発,” 高機能な酸化チタン光触媒,高機能光触媒創製と応用技術研究会(編), pp.299-314, NTS, 東京,2004.
• 森川健志,多賀康訓,“窒素ドープによる酸化チタン光触媒の可視光応答化,” 図解光触媒のすべて,橋本和仁/藤嶋昭(監修),pp.116-117, 工業調査会,東京,2003.
• R. Nakamura, T. Tanaka, and Y. Nakato, “Mechanism for visible light responses in anodic photocurrents at N-doped TiO₂ film electrode,” J. Phys. Chem. B, vol.108, pp.10617-10620, June 2004.
• 入江寛,“可視光応答型光触媒の基礎,” 光触媒応用技術, 橋本和仁(編),第3章,東京図書,東京,2007.

Terms in the title (7)： TiO2 ,  TiN ,  ターゲット ,  RFスパッタリング ,  作製 ,  多結晶薄膜 ,  配向性