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J-GLOBAL ID：201802244941654045   Reference number：18A1699385

エリンガムの原理を利用したMgO-Ti複合薄膜の作製

Author (6)： AIHARA SAAYA (東海大 工) ,  HANDA TAKAYOSHI (東海大 工) ,  BANNO TETSUYA (東海大 工) ,  GENMA RYOTA (東海大 工) ,  UCHIDA HERUMUTOTAKAHIRO (東海大 工) ,  SATO MASASHI (東海大 工)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 79th  Page： ROMBUNNO.20a-PB1-11  Publication year： Sep. 05, 2018 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *transparent conducting thin films ,  *magnesium ,  *titanium ,  *sputtering ,  *magnesium oxide ,  *composite film ,  magnetron sputtering ,  glass ,  substrate(plate) ,  firing(heat treatment) ,  X-ray diffraction ,  *visible light ,  *optical transmission
Semi thesaurus term： Co-sputtering ,  DC magnetron sputtering ,  non-alkali glass

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： 原理 ,  MgO ,  Ti ,  薄膜 ,  作製