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J-GLOBAL ID：201802260754789933   Reference number：18A1599204

電子機器を支える高分子 誘導自己組織化の実現に向けて

Author (2)： YOSHIMOTO KENJI (京大 学際融合教育研究推進セ) ,  YOSHIMOTO KENJI (京大 大学院工学研究科)
Material： 高分子  (Polymers)
Volume： 67  Issue： 9  Page： 523-525  Publication year： Sep. 01, 2018 
JST Material Number： F0168A  ISSN： 0454-1138  CODEN： KOBUA3  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *self-organizing ,  electronic equipment ,  *Miniaturization ,  *mass production ,  *semiconductor integrated circuit ,  microphase separation ,  *diblock copolymer ,  molecular structure ,  microphase separated structure ,  *modification
Semi thesaurus term： electronic equipment ,  performance enhancement

JST classification (2)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Polymer chemistry in general  (CG01000B)

Reference (24)：

• ′′International Roadmap for Devices and Systems 2017 Ed. Lithography′′, IRDS eds., IEEE (2017) https://irds.ieee.org
• ′′Microlithography: Science and Technology, 2nd Ed.′′, B. W. Smith and K. Suzuki eds., CRC Press, New York, USA (2007)
• ′′半導体微細パターニング~限界を超えるポスト光リソグラフィ技術~′′, 岡崎信次, NTS, 東京 (2017)
• ′′Directed Self-assembly of Block Copolymers for Nano-manufacturing′′, R. Gronheid and P. F. Nealey eds., Woodhead Publishing, Cambridge, UK (2015)
• ′′ブロック共重合体の自己組織化技術の基礎と応用′′, 竹中幹人,長谷川博一, シーエムシー出版, 東京 (2013)

Terms in the title (4)： 電子機器 ,  高分子 ,  誘導 ,  自己組織化