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J-GLOBAL ID：201802261321943815   Reference number：18A1494407

Development of Non-foaming Polishing Pads Using Polyamide-based Epoxy Resin

無気孔アミド系エポキシ樹脂研磨パッドの開発

Author (3)： ZHANG Yu (立命館大学) ,  TANI YASUHIRO (立命館大学) ,  NOMURA NOBUYUKI (九重電気(株))
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 84  Issue： 7  Page： 646-651(J-STAGE)  Publication year： 2018 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *epoxy resin ,  *polyamide ,  crosslinking agent ,  *cutting tool ,  glass ,  slurry ,  *pad ,  stoma ,  foaming(action) ,  polishing(machining) ,  hardness ,  hydrophilicity ,  contact angle ,  abrasive grain ,  polyamine
Semi thesaurus term： *polish pad ,  hardening agent (polymer) ,  removal velocity

Author keywords (12)： polishing pad ,  abrasive ,  polyamide ,  epoxy resin ,  hydrophilicity ,  surface roughness ,  polishing pad ,  abrasive ,  polyamide ,  epoxy resin ,  hydrophilicity ,  surface roughness

JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• 1) 一廼穂直聡, 村田順二, 谷泰弘, 張宇, 山田美幸, 楊原武:滞留性を考慮した複合砥粒の開発とその研磨特性,日本機械学会論文集C編, 78, 790 (2012) 2302.
• 2) Yu Zhang and Yasuhiro Tani, Application to a High-performance Lapping Plate of Stainless Steel, International Journal of Mechanical Engineering and Robotics Research, 6, 5 (2017) 343.
• 3) 川波多裕司, 桐野宙冶, 張宇, 谷泰弘:金属短繊維含有ラッピング工具の開発, 精密工学会誌, 83, 7 (2017) 672.
• 4) 村田順二, 谷泰弘, 広川良一, 野村信幸, 張宇, 宇野純基:ガラス研磨用エポキシ樹脂研磨パッドの開発, 日本機械学会論文集C編, 77, 777 (2011) 2153.
• 5) 野村信幸, 望月隆弘, 澤畠智也, 広川良一, 若杉博雄:砥粒の保持特性を大幅に向上させた多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発, 精密工学会誌, 81, 2 (2015) 108.

Terms in the title (5)： 気孔 ,  アミド ,  エポキシ樹脂 ,  研磨パッド ,  開発