Art

J-GLOBAL ID：201802268302087351   Reference number：18A1475544

Safety and Maintenance Management for Vacuum Equipment

真空機器の保守・管理と安全

Author (1)： HOSAKA HIROYUKI (アルバックテクノ株式会社)
Material： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
Volume： 61  Issue： 8  Page： 496-504(J-STAGE)  Publication year： 2018 
JST Material Number： G0194B  ISSN： 2433-5835  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum equipment ,  *maintenance management ,  *safety ,  initial failure ,  random failure ,  wear-out failure ,  *vacuum pump ,  cryopump ,  molecular pump ,  ion pump(vacuum) ,  pressure fluctuation ,  velocity ,  mass spectrometer ,  partial pressure ,  *vacuum seal ,  rubber ,  gasket ,  performance test ,  work safety ,  safety education ,  adaptive training ,  data sheet ,  *safety management ,  risk assessment
Semi thesaurus term： Elastomers ,  Partial Pressure ,  sputter ion pump ,  turbo molecular pump ,  ドライ真空ポンプ ,  training ,  *Risk Assessment ,  Roots vacuum pump ,  pressure increase ,  material safety data sheet ,  diffusion pump ,  *Kiken Yochi Training ,  *work safety ,  *vacuum device ,  pumping speed ,  oil-sealed rotary vacuum pump

Author keywords (8)： safty ,  maintenance ,  management ,  equipment ,  safty ,  maintenance ,  management ,  equipment

JST classification (3)： Vacuum production and techniques  (BA02020L) ,  Reliability  (KB04040H) ,  Safety management  (KB06000D)

Reference (5)：

• 1) Y. Gotoh : J. Vac. Soc. Jpn. 59, 184 (2016). (in Japanese)
• 2) 中山勝也 : “新版真空技術実務読本” 竹生修己編(株式会社オーム社, 東京, 1994)p.92-94,p.148-149.
• 3) SEAJ(一社)日本半導体製造装置協会 : SEAJ推奨サービス安全教育・テキストR.4.00,東京(2017年4月1).
• 4) ミドリ安全株式会社 商品カタログLOCKOUT SYSTEM CATALOG VOL.6(2015年発行A270743-1 05K)p.12右下1外部ハンドルへの使用例,4PSL-CBILNTの使用例,p.17右下5ボールバルブ使用例.
• 5) JIS B 9700:2013 機械類の安全性-基本概念,設計のための一般原則- リスクアセスメント及びリスク低減.

Terms in the title (2)： 真空機器 ,  保守