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J-GLOBAL ID：201802277620708738   Reference number：18A1699138

化学状態の非破壊ナノイメージングを可能にする光電子顕微鏡開発

Author (18)： OKUDA YUJI (東京理大) ,  OKUDA YUJI (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  OKUDA YUJI (東大 物性研) ,  KAWAKITA JUMPEI (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  KAWAKITA JUMPEI (東大 物性研) ,  TANIUCHI TOSHIYUKI (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  TANIUCHI TOSHIYUKI (東大 物性研) ,  SHIMA HISASHI (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  SHIMA HISASHI (産業技術総合研) ,  SHIMIZU ATSUSHI (東京理大) ,  SHIMIZU ATSUSHI (産業技術総合研) ,  NAITO YASUHISA (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  NAITO YASUHISA (産業技術総合研) ,  AKINAGA HIROYUKI (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  AKINAGA HIROYUKI (産業技術総合研) ,  KINOSHITA KENTARO (東京理大) ,  SHIN SHIGI (産総研・東大オペランド計測OIL) ,  SHIN SHIGI (東大 物性研)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 79th  Page： ROMBUNNO.20a-222-9  Publication year： Sep. 05, 2018 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： emission-type microscope ,  *nondestructive inspection ,  RAM ,  ultraviolet laser ,  cw laser ,  image technology
Semi thesaurus term： *resistance random access memory ,  nano imaging ,  *photoemission electron microscope

JST classification (2)： Microscopy determination of structures  (BK01040E) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (4)： 化学状態 ,  ナノイメージング ,  光電子顕微鏡 ,  開発