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J-GLOBAL ID：201802281055403462   Reference number：18A0776812

Ion Track Etching of PVDF Films Irradiated with Fast C₆₀⁺ Cluster Ions

高速C₆₀⁺クラスターイオン照射によるPVDF薄膜のイオントラックエッチング

Author (4)： KITAMURA A. (JAEA) ,  YAMAKI T. (QST) ,  CHIBA A. (QST) ,  USUI A. (JAEA)
Material： 量子科学技術研究開発機構資料(Web)  (QST-M (Web))
Issue： 8  Page： 37 (WEB ONLY)  Publication year： Mar. 2018 
JST Material Number： U1319A  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： クラスターイオン ,  PVDF ,  薄膜