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J-GLOBAL ID：201802281292953910   Reference number：18A1770521

Investigation on Silicon Oxide Films Grown by Using Silicone Oil and Ozone at Low-Temperature

低温でシリコーン油とオゾンを用いて成長させた酸化けい素膜の研究【JST・京大機械翻訳】

Author (3)： Ferdous Sanjida (Dept. of Applied Physics & Electronic Engineering, University of Rajshahi, Bangladesh) ,  Md. Ismail Abu Bakar (Dept. of Applied Physics & Electronic Engineering, University of Rajshahi, Bangladesh) ,  Horita Susumu (Japan Advanced Institute of Science and Technology, University in Nomi, Japan)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2018  Issue： IC4ME2  Page： 1-4  Publication year： 2018 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： High quality silicon oxide (Si...

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Thesaurus term： refractive index ,  *low temperature ,  transistor ,  heat treatment ,  dielectrics ,  laser ,  chemical reaction ,  *Ozone ,  silicon oxide ,  spectrum ,  leakage current ,  *silicone oil ,  pore ,  gate dielectric film
Semi thesaurus term： ポストアニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Graphic and image processing in general  (JE04010I)

Terms in the title (6)： 低温 ,  シリコーン油 ,  オゾン ,  成長 ,  酸化けい素膜 ,  研究