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J-GLOBAL ID:201803000525721480
検査システム、検査方法、検査プログラム、および記憶媒体
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (5):
棚井 澄雄
, 橋本 宏之
, 山口 洋
, 沖田 壮男
, 荒 則彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016240432
Publication number (International publication number):2018096780
Application date: Dec. 12, 2016
Publication date: Jun. 21, 2018
Summary:
【課題】検査対象物に対して広範囲かつ高精度に検査を行うことができる検査システム、検査方法、検査プログラム、および記憶媒体を提供する。【解決手段】本発明の一態様の検査システムは、検査対象物を加熱する加熱装置と、前記加熱装置によって加熱された前記検査対象物の赤外線画像を撮像する撮像装置と、前記検査対象物の表面状態を検出するセンサと、前記検査対象物の検査画像を生成する検査装置と、を備える。前記検査装置は、前記センサの検出値に基づいて、前記加熱装置、前記撮像装置、前記センサ、および前記検査装置が一体で移動するのに伴って前記撮像装置により連続的に撮像された赤外線画像を合成して前記検査画像を生成する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査対象物を加熱する加熱装置と、
前記加熱装置によって加熱された前記検査対象物の赤外線画像を撮像する撮像装置と、
前記検査対象物の表面状態を検出するセンサと、
前記検査対象物の検査画像を生成する検査装置と、を備え、
前記検査装置は、前記センサの検出値に基づいて、前記加熱装置、前記撮像装置、前記センサ、および前記検査装置が一体で移動するのに伴って前記撮像装置により連続的に撮像された赤外線画像を合成して前記検査画像を生成する、
検査システム。
IPC (3):
G01N 25/72
, G01N 21/88
, G01J 5/48
FI (3):
G01N25/72 K
, G01N21/88 Z
, G01J5/48 A
F-Term (17):
2G040AA05
, 2G040AB09
, 2G040BA14
, 2G040BA25
, 2G040CA01
, 2G040DA06
, 2G040EA06
, 2G040HA02
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BA06
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G066AC09
, 2G066BA14
, 2G066CA04
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