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J-GLOBAL ID：201803001139336064

形状測定装置

Inventor： 吉田 一朗 ,  村上 洋 ,  浜野 康雄 ,  本田 裕 ,  青陰 雅昭
Applicant, Patent owner： 株式会社小坂研究所 ,  公立大学法人北九州市立大学
Agent (2)： 伊藤 茂 ,  海老 裕介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017040562
Publication number (International publication number)：2018146341
Application date： Mar. 03, 2017
Publication date： Sep. 20, 2018
Summary：

【課題】形状測定装置の測定感度をさらに向上させること。【解決手段】スタイラス保持部材12と、スタイラス保持部材12に保持されたスタイラス14と、スタイラス14のスタイラス軸26にレーザ光L1、L2を照射するためのレーザ光照射ユニット16、17と、スタイラス軸26を透過したレーザ光L1、L2を受光して、その受光位置を検出する2分割型フォトダイオード18、19と、測定対象物Wをスタイラス保持部材12に対して相対的に移動させて、スタイラス14の接触子28を測定対象物Wの所定の測定点に接触させるXYZステージ20とを備える形状測定装置10である。スタイラス軸26を透過するレーザ光L1、L2は、その光軸C1、C2がスタイラス14の長手軸線Aに直交する平面に対して傾斜してスタイラス軸26を横断するようにして、スタイラス軸26に照射される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

スタイラス保持手段と、 該スタイラス保持手段に保持された基部から先端部にまで長手軸線の方向に延在し少なくとも一部が光透過材料で形成された可撓性を有するスタイラス軸、及び該スタイラス軸の先端部に配置された接触子、を有するスタイラスと、 該スタイラス軸の該光透過材料の部分に計測光を照射する計測光照射手段であって、該スタイラス軸の該光透過材料の部分を透過する該計測光の光軸が、該長手軸線に直交する平面に対して傾斜して該スタイラス軸を横断するようにされた計測光照射手段と、 該スタイラス軸を透過した計測光を受光する受光部を有し、該受光部内における該計測光の受光位置を検出するようにされた光位置検出手段と、 測定対象物と該スタイラス保持手段とを相対的に移動させて、該スタイラスの該接触子を該測定対象物の所定の測定点に接触させる移動手段と、 を備える、形状測定装置。

IPC (2)：

G01B 5/20 ,  G01B 21/20

FI (2)：

G01B5/20 C ,  G01B21/20 C

F-Term (19)：

2F062AA01 ,  2F062AA51 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF12 ,  2F062GG71 ,  2F062HH01 ,  2F069AA01 ,  2F069AA61 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069GG64 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ11 ,  2F069LL06 ,  2F069MM02