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J-GLOBAL ID：201803005361029132

微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置

Inventor： 杉坂 純一郎 ,  安井 崇 ,  平山 浩一
Applicant, Patent owner： 国立大学法人北見工業大学
Agent (3)： 木村 満 ,  太田 清子 ,  毛受 隆典
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016244003
Publication number (International publication number)：2018097284
Application date： Dec. 16, 2016
Publication date： Jun. 21, 2018
Summary：

【課題】所望の微細光学像を容易に生成できる微細光学像生成素子及び微細光学像生成装置を提供する。【解決手段】微細光学像生成素子100は、準結晶パターンを同一平面上で少なくとも二つ以上組み合わせた配置パターンに基づいて複数の開口部140が配置された微細構造部120を備える。微細構造部120は、レーザ光を遮断する遮光膜130と、遮光膜130に設けられ、レーザ光が通過可能な複数の開口部140と、を備える。準結晶パターンは、例えば、準結晶の格子構造の一つであるペンローズタイルの格子点からなるパターンである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

準結晶パターンを同一平面上で少なくとも二つ以上組み合わせた配置パターンに基づいて複数の凹部、凸部、又は開口部が配置された微細構造部を備える微細光学像生成素子。

IPC (3)：

G03F 7/20 ,  G03F 1/50 ,  G03F 1/22

FI (4)：

G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501 ,  G03F1/50 ,  G03F1/22

F-Term (16)：

2H195BA12 ,  2H195BB08 ,  2H195BB09 ,  2H195BB10 ,  2H195BB16 ,  2H195BB25 ,  2H195BB35 ,  2H195BC05 ,  2H197AA50 ,  2H197BA11 ,  2H197CA01 ,  2H197CA03 ,  2H197CA07 ,  2H197CA10 ,  2H197HA03 ,  2H197JA05