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J-GLOBAL ID：201803005534135952

強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法及びその装置

Inventor： 堤 潤也 ,  松岡 悟志 ,  堀内 佐智雄 ,  上村 洋平 ,  荒井 俊人 ,  長谷川 達生
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016167750
Publication number (International publication number)：2018036088
Application date： Aug. 30, 2016
Publication date： Mar. 08, 2018
Summary：

【課題】 簡易な観察方法でありながら、高速且つ高い分解能をもって観察できる強誘電体の分極ドメインの可視化観察方法及びその装置の提供。【解決手段】 強誘電体薄膜に前記分極ドメインを反転させない大きさの正負の電場を周期Tで交互に形成させるとともに、これと同期させて強誘電体薄膜に照射した単色光の透過光又は反射光を二次元光検出器によって撮像する。正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージを得るが、差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えるとともに、周期Tを短時間側にシフトさせて差イメージのノイズ除去を図る。【選択図】 図8

Claim (excerpt)：

強誘電体の分極ドメインを可視化観察する方法であって、 強誘電体薄膜に前記分極ドメインを反転させない大きさの正負の電場を周期Tで交互に形成させるとともに、これと同期させて前記強誘電体薄膜に照射した単色光の透過光又は反射光を二次元光検出器によって撮像し、正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージを得る可視化観察方法において、前記差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えるとともに、前記周期Tを短時間側にシフトさせて前記差イメージのノイズ除去を図ることを特徴とする強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法。

IPC (4)：

G01N 21/17 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 27/10

FI (3)：

G01N21/17 A ,  H01L27/10 444C ,  H01L27/10 449

F-Term (26)：

2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059FF05 ,  2G059GG00 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK04 ,  2G059KK10 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04 ,  5F083FR00 ,  5F083FZ07 ,  5F083GA21 ,  5F083JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 強誘電体のドメイン観察方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-247883   Applicant：科学技術振興事業団
• 試料表面のパラメータ差映像用方法と装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-504446   Applicant：エムエムアールテクノロジーズインコーポレイテッド

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 強誘電体の分域構造