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J-GLOBAL ID：201803007210242090

金属酸化物の同定方法

Inventor： 大谷 文章 ,  高瀬 舞 ,  高島 舞 ,  新田 明央 ,  黒田 靖
Applicant, Patent owner： 国立大学法人北海道大学 ,  昭和電工株式会社
Agent (3)： 及川 周 ,  荒 則彦 ,  勝俣 智夫
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2017004592
Publication number (International publication number)：WO2017154450
Application date： Feb. 08, 2017
Publication date： Sep. 14, 2017
Summary：

この金属酸化物の同定方法は、前記基準試料分析工程の分析結果と前記測定試料分析工程の分析結果を比較する同定工程と、を有し、前記同定工程における基準試料に対する測定試料の同定を、(A)基準試料のバンドギャップと測定試料のバンドギャップの一致度に対して、(B)基準試料の電子トラップの総密度と測定試料の電子トラップの総密度の一致度と(C)基準試料の密度電子トラップ密度のエネルギー分布と測定試料の密度電子トラップ密度のエネルギー分布の一致度の一方または両方を乗して得た一致係数により行う。

Claim (excerpt)：

金属酸化物を有する基準試料のバンドギャップと、前記基準試料の電子トラップの総密度と電子トラップ密度のエネルギー分布の一方または両方と、を測定する基準試料分析工程と、 金属酸化物を有する測定試料のバンドギャップと、前記測定試料の電子トラップの総密度と電子トラップ密度のエネルギー分布の一方または両方と、を測定する測定試料分析工程と、 前記基準試料分析工程の分析結果と前記測定試料分析工程の分析結果を比較する同定工程と、を有し、 前記同定工程における基準試料に対する測定試料の同定を、(A)基準試料のバンドギャップと測定試料のバンドギャップの一致度に、(B)基準試料の電子トラップの総密度と測定試料の電子トラップの総密度の一致度と(C)基準試料の電子トラップ密度のエネルギー分布と測定試料の電子トラップ密度のエネルギー分布の一致度の一方または両方を乗して得た一致係数により行う金属酸化物の同定方法。

IPC (4)：

G01N 29/24 ,  G01N 29/04 ,  G01N 29/30 ,  G01N 21/00

FI (4)：

G01N29/24 ,  G01N29/04 ,  G01N29/30 ,  G01N21/00 A

F-Term (22)：

2G047AA08 ,  2G047BC03 ,  2G047CA04 ,  2G047CA07 ,  2G047EA10 ,  2G047GD02 ,  2G047GG33 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB09 ,  2G059CC20 ,  2G059DD20 ,  2G059EE16 ,  2G059FF08 ,  2G059GG07 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK08