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J-GLOBAL ID:201803007356107012

固体レーザシステムおよびエキシマレーザシステム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人つばさ国際特許事務所
Gazette classification:再公表公報
Application number (International application number):JP2015079151
Publication number (International publication number):WO2017064789
Application date: Oct. 15, 2015
Publication date: Apr. 20, 2017
Summary:
本開示における固体レーザシステムは、第1の波長の第1のパルスレーザ光と、第2の波長の第2のパルスレーザ光とを出射する固体レーザ装置と、第1のパルスレーザ光が入射し、第1の波長の第3のパルスレーザ光を出射する第1の固体増幅器と、第3のパルスレーザ光が入射し、第3の波長の高調波光を出射する波長変換部と、第2のパルスレーザ光が入射し、第2の波長の第4のパルスレーザ光を出射する第2の固体増幅器と、第4のパルスレーザ光が入射し、第4の波長のストークス光を出射するラマンレーザ装置と、高調波光とストークス光が入射し、第3の波長および第4の波長から波長変換された第5の波長の第5のパルスレーザ光を出射する波長変換システムとを備えてもよい。
Claim (excerpt):
第1の波長の第1のパルスレーザ光と、第2の波長の第2のパルスレーザ光とを出射する固体レーザ装置と、 前記第1のパルスレーザ光が入射し、前記第1の波長の第3のパルスレーザ光を出射する第1の固体増幅器と、 前記第3のパルスレーザ光が入射し、第3の波長の高調波光を出射する波長変換部と、 前記第2のパルスレーザ光が入射し、前記第2の波長の第4のパルスレーザ光を出射する第2の固体増幅器と、 前記第4のパルスレーザ光が入射し、第4の波長のストークス光を出射するラマンレーザ装置と、 前記高調波光と前記ストークス光が入射し、前記第3の波長および前記第4の波長から波長変換された第5の波長の第5のパルスレーザ光を出射する波長変換システムと を備える固体レーザシステム。
IPC (5):
G02F 1/37 ,  G02F 1/35 ,  H01S 3/067 ,  H01S 3/30 ,  H01S 3/23
FI (5):
G02F1/37 ,  G02F1/35 502 ,  H01S3/067 ,  H01S3/30 ,  H01S3/23
F-Term (34):
2K102AA07 ,  2K102AA08 ,  2K102AA15 ,  2K102AA32 ,  2K102BA18 ,  2K102BB02 ,  2K102BC02 ,  2K102BD10 ,  2K102CA00 ,  2K102DA01 ,  2K102DB01 ,  2K102DD10 ,  2K102EA17 ,  2K102EA18 ,  2K102EB02 ,  2K102EB06 ,  2K102EB10 ,  2K102EB12 ,  2K102EB20 ,  5F172AD06 ,  5F172AE01 ,  5F172AE03 ,  5F172AE08 ,  5F172AF03 ,  5F172AF06 ,  5F172AG03 ,  5F172AM04 ,  5F172AM08 ,  5F172DD06 ,  5F172NR13 ,  5F172NR14 ,  5F172NR22 ,  5F172NR23 ,  5F172NR24

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