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J-GLOBAL ID：201803008540109342

L10型FeNi規則合金の製造方法

Inventor： 水口 将輝 ,  田代 敬之 ,  高梨 弘毅 ,  三浦 良雄 ,  辻川 雅人 ,  白井 正文
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (2)： 須田 篤 ,  楠 修二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016175873
Publication number (International publication number)：2018041873
Application date： Sep. 08, 2016
Publication date： Mar. 15, 2018
Summary：

【課題】比較的簡便な方法で薄膜状のL10型FeNi規則合金を製造することができる、L10型FeNi規則合金の製造方法を提供する。【解決手段】不活性ガス雰囲気中で、回転する基板の表面にFeとNiと第三元素とを同時にスパッタしてFeNi合金薄膜を製造し、真空雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、そのFeNi合金薄膜を310°C以上500°C未満の所定の温度まで、0.1°C/秒以上の昇温速度で加熱した後、その所定の温度で1秒以上保持する。基板はMgO単結晶基板から成り、基板の表面が(001)面であることが好ましい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

真空雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、FeNi合金薄膜を所定の温度まで加熱した後、前記所定の温度で所定の時間保持する加熱工程を有することを特徴とするL10型FeNi規則合金の製造方法。

IPC (8)：

H01F 10/14 ,  C22C 19/03 ,  C22F 1/10 ,  C22C 38/00 ,  C21D 6/00 ,  C23C 14/58 ,  C23C 14/14 ,  H01F 41/18

FI (8)：

H01F10/14 ,  C22C19/03 D ,  C22F1/10 C ,  C22C38/00 303A ,  C21D6/00 B ,  C23C14/58 A ,  C23C14/14 F ,  H01F41/18

F-Term (14)：

4K029AA04 ,  4K029BA25 ,  4K029BA26 ,  4K029BB07 ,  4K029BC06 ,  4K029CA05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029JA02 ,  5E049AA09 ,  5E049AA10 ,  5E049DB04 ,  5E049EB06 ,  5E049GC01