荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：特許業務法人磯野国際特許商標事務所 , 磯野道造
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013234858
Publication number (International publication number)：2014063746
Patent number：6276563
Application date： Nov. 13, 2013
Publication date： Apr. 10, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】一次電子ビームを試料に照射することで、前記試料に関する情報を取得する荷電粒子線装置を制御する処理部を有し、前記処理部は、前記一次電子ビームの照射が行われている間、オートフォーカス調整が行われている間、及び、その他のユーザの待機時間、それまで表示されていた操作画面が非活性となり、前記一次電子ビームの現在の照射状態を示す画面及び前記一次電子ビームの照射構造を示す模式図を画像表示部に表示し、前記荷電粒子線装置の原理、前記試料の前処理に関する説明、前記荷電粒子線装置の構造、前記荷電粒子線装置の操作手順、観察条件を変更することによる画像の変化が強調された強調画像の原理のうち、少なくとも1つを含む情報を前記画像表示部に表示し、前記荷電粒子線装置の操作画面の各項目の説明を表示し、前記荷電粒子線装置の調整パラメータの説明を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2)：

H01J 37/24 ( 200 6.01) , H01J 37/22 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01J 37/24 , H01J 37/22 502 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

試料検査方法及び試料検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-328959 Applicant：日本電子株式会社
試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-366741 Applicant：株式会社キーエンス
透過電子顕微鏡装置および透過電子検査装置並びに検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-043235 Applicant：株式会社日立製作所

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