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J-GLOBAL ID：201803011842039263

ホログラフィー再生方法及びプログラム

Inventor： 原田 研 ,  新津 甲大 ,  嶌田 惠子
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人理化学研究所
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017090408
Publication number (International publication number)：2018190550
Application date： Apr. 28, 2017
Publication date： Nov. 29, 2018
Summary：

【課題】荷電粒子線装置よるレンズレス・フーリエ変換ホログラフィーの高精度な再生方法を提供する。【解決手段】荷電粒子線の進行方向下流側に備えられ、荷電粒子線に対して透過性を有する材料からなる回折格子の回折面に試料を保持可能とし、回折面を通過した荷電粒子線を結像して、結像を検出する。回折格子の開口領域を、荷電粒子線の回折格子への照射領域よりも小さくして、回折格子により回折された荷電粒子線の照射領域が、回折格子を透過した荷電粒子線の照射領域内にある状態として画像データを得(S701、S702)、この画像データに基づき得られる複数のホログラムをフーリエ変換し(S703)、強度分布像を表示、記憶する(S703、S704)。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

荷電粒子線装置よるホログラフィーの再生方法であって、 前記荷電粒子線装置は、荷電粒子線を照射する照射光学系と、照射される前記荷電粒子線の進行方向下流側に備えられ、前記荷電粒子線に対して透過性を有する材料からなる回折格子と、前記回折格子の回折面に試料を保持可能な試料保持部と、前記回折面を通過した前記荷電粒子線を結像する結像光学系と、前記結像光学系による結像を検出する画像検出部と、前記画像検出部が検出した画像データを処理する制御部と、を備え、 前記制御部は、 前記回折格子の開口領域を、前記荷電粒子線の前記回折格子への照射領域よりも小さくして、前記回折格子により回折された前記荷電粒子線の照射領域が、前記回折格子を透過した前記荷電粒子線の照射領域内にある状態とし、 前記画像データに基づき得られる複数のホログラムの少なくも一つを選択し、選択した前記ホログラムをフーリエ変換する、よう制御する、 ことを特徴とするホログラフィーの再生方法。

IPC (2)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/22

FI (3)：

H01J37/26 ,  H01J37/22 501Z ,  H01J37/22 501J

F-Term (3)：

5C033SS03 ,  5C033SS06 ,  5C033SS10