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J-GLOBAL ID：201803012790217482

広範囲の改質のためのレーザシステム及び方法

Inventor： クライネルト,ヤン ,  吉野 郁世 ,  ニューフェルド,コーリー ,  ウィリー,ジェレミー ,  アルぺイ,メメット
Applicant, Patent owner： エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
Agent (2)： 森 友宏 ,  桑原 宏光
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2017541627
Publication number (International publication number)：2018507782
Application date： Feb. 18, 2016
Publication date： Mar. 22, 2018
Summary：

レーザシステム(112,1300)は、ビームレット(1408)の数と空間的は位置を可変的に選択してスポット領域(302)の可変パターンを対象物(100)まで伝搬させるためにビームステアリングシステム(1370)の移動に動作が同期されるビームレット選択装置(2350)に複数のビームレット(1408)を供給するビームレット生成器(1404)を用いて対象物(100)上の広い範囲を改質する。

Claim (excerpt)：

対象物の広範囲のレーザ改質のための方法であって、 光路に沿って伝搬するようにレーザビームを方向付け、 前記レーザビームをビームレット生成器に伝搬させて、3つ以上のビームレットを含む複数の別個のビームレットからなるビームレットグループを生成し、 ビームレット選択装置を用いて前記ビームレットグループを第1及び第2のビームレットセットに分配し、前記第1のビームレットセットは、第1の個数のビームレットを含み、前記ビームレット選択装置は、前記第1のビームレットセットが前記光路に沿って伝搬することを許容し、前記第2のビームレットセットが前記光路に沿って伝搬することを防止し、 前記ビームレット選択装置の動作をビーム位置決めシステムの動作と協働させ、前記ビーム位置決めシステムは、前記対象物に対する前記レーザビームのビーム軸の相対運動及び相対位置を制御し、前記ビームレット選択装置は、前記対象物に対する前記ビーム軸の前記相対運動又は前記相対位置に対してなされた変化に協調して、前記第1のビームレットセットにおける前記第1の個数のビームレットを変化させ、前記第1の個数のビームレットに対応する数のスポット領域を前記対象物上に有する可変スポットセットで前記対象物に当てる、 方法。

IPC (4)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/067 ,  B81B 7/02 ,  B23K 26/53

FI (4)：

B23K26/00 B ,  B23K26/067 ,  B81B7/02 ,  B23K26/53

F-Term (37)：

3C081AA13 ,  3C081BA28 ,  3C081EA07 ,  4E168AA01 ,  4E168AD01 ,  4E168AD07 ,  4E168AD11 ,  4E168AE01 ,  4E168CB04 ,  4E168CB07 ,  4E168DA02 ,  4E168DA03 ,  4E168DA04 ,  4E168DA06 ,  4E168DA13 ,  4E168DA23 ,  4E168DA28 ,  4E168DA32 ,  4E168DA34 ,  4E168DA35 ,  4E168DA38 ,  4E168DA45 ,  4E168DA46 ,  4E168EA05 ,  4E168EA06 ,  4E168EA11 ,  4E168EA15 ,  4E168EA19 ,  4E168EA20 ,  4E168JA03 ,  4E168JA05 ,  4E168JA11 ,  4E168JA13 ,  4E168JA14 ,  4E168JA15 ,  4E168JA17 ,  4E168JA28