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J-GLOBAL ID：201803016064627499

半導体検査装置

Inventor： 大村 一郎 ,  渡邉 晃彦 ,  附田 正則
Applicant, Patent owner： 国立大学法人九州工業大学
Agent (2)： 中前 富士男 ,  清井 洋平
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2016073445
Publication number (International publication number)：WO2017026483
Application date： Aug. 09, 2016
Publication date： Feb. 16, 2017
Summary：

液体槽11内の液体12中を伝播して半導体素子13に到達する超音波を発信する超音波探触子14と、受信された超音波を基に半導体素子13の異常を検出する解析手段27とを有する半導体検査装置10において、半導体素子13に接続され、半導体素子13に通電して半導体素子13を作動させる電流印加手段17と、液体槽11内の液体12に流れを発生させる流れ発生手段16、23、24、25とを備える。

Claim (excerpt)：

液体槽内の液体中を伝播して半導体素子に到達する超音波を発信する超音波探触子と、受信された超音波を基に前記半導体素子の異常を検出する解析手段とを有する半導体検査装置において、 前記半導体素子に接続され、該半導体素子に通電して該半導体素子を作動させる電流印加手段と、 前記液体槽内の液体に流れを発生させる流れ発生手段とを備えることを特徴とする半導体検査装置。

IPC (2)：

G01N 29/06 ,  G01N 29/32

FI (2)：

G01N29/06 ,  G01N29/32

F-Term (10)：

2G047AA05 ,  2G047AC10 ,  2G047BB01 ,  2G047BB06 ,  2G047BC03 ,  2G047BC07 ,  2G047CA01 ,  2G047GE06 ,  2G047GG33 ,  2G047GH06