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J-GLOBAL ID:201901007438780947   Update date: Jan. 30, 2024

Sasago Masaru

ササゴ マサル | Sasago Masaru
Research field  (1): Electric/electronic material engineering
Research keywords  (5): 半導体集積化技術 ,  三次元パッケージ技術 ,  メタマテリアル ,  Micro Process ,  Lithography
Research theme for competitive and other funds  (1):
  • 2020 - 2023 三次元フォトリソグラフィ
Work history (3):
  • 2022/12 - 現在 Osaka Metropolitan University Graduate School of Engineering
  • 2021/01 - 現在 Quantum Super Process Lab CEO
  • 1978/12 - 2021/12 Panasonic Corporation
Committee career (2):
  • 2022/12 - 現在 3DHIコンソーシアム 事務局
  • 2021/01 - 現在 半導体3Dプロセスインフォマティクス研究会 副会長
Awards (3):
  • 2013/05 - 応用物理学会 フェロー エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と工業化推進
  • 2010/05 - 文部科学省 文部科学大臣科学技術賞 半導体超微細加工用エキシマレーザーリソグラフィ技術の開発
  • 2008/11 - 材料科学技術振興財団 山崎貞一賞 エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と 工業化推進
Association Membership(s) (3):
SPIE ,  IEEE ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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