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J-GLOBAL ID：201902004744496041   Reference number：19S2975439

Sticking and recombination of the SiH3 radical on hydrogenated amorphous silicon: The catalytic effect of diborane

Author (5)： Perrin, Jérôme (Electrotechnical Laboratory) ,  Takeda, Yoshihiko (Electrotechnical Laboratory) ,  Hirano, Naoto (Electrotechnical Laboratory) ,  Takeuchi, Yoshiaki (Electrotechnical Laboratory) ,  Matsuda, Akihisa (Electrotechnical Laboratory)
Material： Surface Science
Volume： 210  Issue： 1-2  Page： 114-128  Publication year： 1989 
JST Material Number： SCOPUS  ISSN： 0039-6028  CODEN： SUSCA 
Language： English (EN)