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J-GLOBAL ID：201902108749133737   Reference number：19S2853022

Characteristic analysis of a pressure sensor using the silicon piezoresistance effect for high-pressure measurements

Author (7)： Matsuoka, Yoshitaka (Hitachi Ltd) ,  Yamamoto, Yoshimi (Hitachi Ltd) ,  Yamada, Kazuji (Hitachi Ltd) ,  Shimada, Satoshi (Hitachi Ltd) ,  Tanabe, Masanori (Hitachi Ltd) ,  Yasukawa, Akio (Hitachi Ltd) ,  Matsuzaka, Hidetoshi (Hitachi Ltd)
Material： Journal of Micromechanics and Microengineering
Volume： 5  Issue： 1  Page： 25-31  Publication year： 1995 
JST Material Number： SCOPUS  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIE