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J-GLOBAL ID：201902219734225640   Reference number：19A1689010

Data Driven Wafer Pattern Defect Pattern Recognition Method

データ駆動ウエハ欠陥パターン認識法【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Yang Zhenliang (東華大学机械工程学院, 上海, 201620) ,  Wang Junliang (東華大学机械工程学院, 上海, 201620) ,  Zhang Jie (東華大学机械工程学院, 上海, 201620) ,  Jiang Xiaokang (東華大学机械工程学院, 上海, 201620)
Material： Zhongguo Jixie Gongcheng  (China Mechanical Engineering)
Volume： 30  Issue： 2  Page： 230-236  Publication year： 2019 
JST Material Number： C2243A  ISSN： 1004-132X  CODEN： ZJGOE8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： China (CHN)  Language： CHINESE (ZH)

Abstract/Point： Aiming at the characteristics ...

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Thesaurus term： Radon transformation ,  crystal ,  *pattern recognition ,  network ,  production process (control) ,  higher dimension ,  algorithm ,  defect classification ,  disparity ,  *data driven
Semi thesaurus term： 認識率 ,  生成機構 ,  リサンプリング , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (5)： semiconductor manufacturing ,  wafer defect ,  pattern recognition ,  data driven ,  generative adversarial network

JST classification (3)： Motion and control of robots  (IC04012J) ,  Grinding  (QC03000R) ,  Pattern recognition  (JE07000S)

Terms in the title (4)： データ駆動 ,  ウエハ ,  欠陥 ,  パターン認識