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J-GLOBAL ID：201902223038765218   Reference number：19A2291162

A Device for Localized Measurement of Small Particles with Electrode-Integrated Small Pores

局所的な微小粒子計測を目指した電極集積型微小孔デバイス

Author (9)： TAKESHIRO YUDAI (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻) ,  USAMI NAOTO (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻) ,  OKAMOTO YUKI (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻) ,  TAKADA TAKEAKI ((株)アドバンテスト) ,  HIGO AKIO (東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター) ,  IKENO RIMON (東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター) ,  WASHIZU NOBUEI ((株)アドバンテスト) ,  ASADA KUNIHIRO (東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター) ,  MITA YOSHIO (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 139  Issue： 8  Page： 271-276(J-STAGE)  Publication year： 2019 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pore ,  *RIE ,  measuring instrument ,  *fine particle ,  high sensitivity ,  pore diameter ,  ion current ,  electric resistance ,  lead wire ,  metal wire ,  accuracy ,  throughput ,  bacterium ,  vesicle(cell) ,  protein complex
Semi thesaurus term： *微小孔 ,  deep reactive ion etching ,  anisotropic etching ,  *Coulter counter ,  particle counter ,  bonding wire ,  Exosomes

Author keywords (8)： コールター計測 ,  微小孔 ,  結晶異方性エッチング ,  深掘り反応性イオンエッチング ,  coulter counter ,  small pore ,  anisotropic etching ,  DRIE

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• (1) G. S. Roberts, S. Yu, Q. Zeng, L. C. L. Chan, W. Anderson, A. H. Colby, M. W. Grinstaff, S. Reid, and R. Vogel : “Tunable pores for measuring concentrations of synthetic and biological nanoparticle dispersions”, Biosensors and Bioelectronics, Vol. 31, No. 1, pp. 17-25 (2012)
• (2) W. H. Coulter, US Patent 2,656,508 (1953)
• (3) L. Yang, M. F. Broom, and I. G. Tucker : “Characterization of a nanoparticulate drug delivery system using scanning ion occlusion sensing”, Pharmaceutical Research, Vol. 29, No. 9, pp. 2578-2586 (2012)
• (4) W. Anderson, D. Kozak, V. A. Coleman, Ǻ. K. Jämting, and M. Trau : “A comparative study of submicron particle sizing platforms: Accuracy, precision and resolution analysis of polydisperse particle size distributions”, Journal of Colloid and Interface Science, Vol. 405, pp. 322-330 (2013)
• (5) K. V. Agrawal, L. W. Drahushuk, and M. S. Strano : “Observation and analysis of the Coulter effect through carbon nanotube and graphene nanopores”, Phil. Trans. R. Soc. A, Vol. 374, p. 20150357 (2016)

Terms in the title (4)： 微小粒子 ,  計測 ,  集積 ,  微小孔