Art

J-GLOBAL ID：201902223892806914   Reference number：19A2696504

Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process

逆リフトオフプロセスのマイクロ加工特性に関する基礎研究【JST・京大機械翻訳】

Author (6)： Nakagawa Yuki (Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan) ,  Yamada Kyohei (Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan) ,  Mizoshiri Mizue (Nagaoka Univ. of Technology, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan) ,  Oka Chiemi (Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan) ,  Sakurai Junpei (Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan) ,  Hata Seiichi (Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2018  Issue： MHS  Page： 1-4  Publication year： 2018 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： In micro electromechanical sys...

Register(free) or Log In to access     To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=19A2696504&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W2441A") }}

Thesaurus term： pattern formation ,  MEMS ,  thick film ,  amorphous alloy ,  *micromachining ,  micrometer ,  film thickness ,  fine patterning ,  convexity ,  micro structure
Semi thesaurus term： 断面形状 ,  *リフトオフ , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Graphic and image processing in general  (JE04010I)

Terms in the title (6)： リフトオフ ,  プロセス ,  マイクロ ,  加工特性 ,  基礎 ,  研究