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J-GLOBAL ID：201902225408263629   Reference number：19A0671561

Study on Planarization Process of Sapphire Substrate Surface

サファイア基板の表面仕上げプロセス研究【JST・京大機械翻訳】

Author (4)： Xu Xiaoming (塩城工学院 机械工程学院,江蘇 塩城,224051) ,  Zhou Hai (塩城工学院 机械工程学院,江蘇 塩城,224051) ,  Huang Chuanjin (塩城工学院 机械工程学院,江蘇 塩城,224051) ,  Wang Chenyu (江蘇吉星新材料有限公司,江蘇 鎮江,212200)
Material： Jixie Sheji yu Zhizao
Issue： 6  Page： 236-238,242  Publication year： 2018 
JST Material Number： C3693A  ISSN： 1001-3997  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： China (CHN)  Language： CHINESE (ZH)

Abstract/Point： This paper focused on the plan...

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Thesaurus term： surface roughness ,  *surface finishing ,  surface quality ,  shape measurement ,  thickness gauge ,  chemical mechanical polishing ,  ultraprecision machining ,  specularity ,  comparative analysis ,  surface morphology ,  laser microscope ,  *sapphire substrate ,  machining
Semi thesaurus term： 平面度 ,  除去量 ,  実験研究 , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (6)： Sapphire ,  Substrate ,  Planarization ,  Process Plan ,  Experimental Study ,  Surface Quality

JST classification (3)： Grinding  (QC03000R) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Terms in the title (4)： サファイア基板 ,  表面仕上げ ,  プロセス ,  研究