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J-GLOBAL ID：201902230734473663   Reference number：19A2189080

Lithographic micropatterning on the β-PVDF film using reactive ion etching aim for high-resolution skin sensors

高分解能皮膚センサを目指した反応性イオンエッチングを用いたβ-PVDF膜上のリソグラフィーマイクロパターン形成

Author (4)： Miki Hirofumi (Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan) ,  Sugii Ryota (Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan) ,  Kawabata Yutoku (Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan) ,  Tsuchitani Shigeki (Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan)
Material： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Trans Electr Electron Eng)
Volume： 14  Issue： 10  Page： 1575-1577  Publication year： Oct. 2019 
JST Material Number： W1854A  ISSN： 1931-4973  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *polyvinylidene fluoride ,  *pattern formation ,  micromachining ,  fine patterning ,  *RIE ,  MEMS ,  high-resolution ,  polymer membrane ,  lithography ,  skin ,  bioinstrumentation ,  somatic sensation ,  sulfur fluoride ,  mass flow rate ,  fron ,  trihalomethane
Semi thesaurus term： PVDF ,  *β-PVDF ,  micro-patterning ,  *皮膚センサ ,  cutaneous sense ,  Sulfur Hexafluoride

Author keywords (5)： β-PVDF ,  dry etching ,  micro patterns ,  skin sensors ,  MEMS

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (2)： Trifluoromethane ,  Tetrafluoromethane

Terms in the title (6)： 高分解能 ,  皮膚 ,  反応性イオンエッチング ,  PVDF膜 ,  リソグラフィー ,  マイクロパターン形成