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J-GLOBAL ID：201902232448736857   Reference number：19A1173934

水晶振動子センサー上に形成したナノ炭素グラフェン膜の構造

Author (5)： SHIBAYAMA YOSHIYUKI (室蘭工大) ,  YAMADA SHIN'YA (ファインクリスタル) ,  YAMADA SHIN'YA (日本製鋼所) ,  OGAWA KENGO (ファインクリスタル) ,  OGAWA KENGO (日本製鋼所)
Material： 室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告
Issue： 29  Page： 13-15  Publication year： 2019 
JST Material Number： L5514A  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *sensor ,  *surface acoustic wave device ,  graphene ,  nanostructure ,  crystal resonator ,  hydrophobic ,  heat treatment ,  electric resistance ,  sensitive membrane ,  *surface acoustic wave sensor
Semi thesaurus term： *SAW sensor

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (4)： 水晶振動子 ,  センサー ,  炭素 ,  グラフェン膜