Art

J-GLOBAL ID：201902239586861221   Reference number：19A1699774

計数型SOI TEGの放射光X線による評価(6)

Author (7)： HASHIMOTO RYO (KEK 物構研) ,  ARAI YASUO (KEK 素核研) ,  IGARASHI NORIYUKI (KEK 物構研) ,  KUMAI REIJI (KEK 物構研) ,  MIYOSHI TOSHINOBU (KEK 素核研) ,  NISHIMURA RYUTARO (金沢大) ,  KISHIMOTO SHUNJI (KEK 物構研)
Material： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
Volume： 74  Issue： 1  Page： ROMBUNNO.14aK108-7  Publication year： Mar. 22, 2019 
JST Material Number： S0671C  ISSN： 2189-079X  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *X-ray detector ,  *X-Ray Diffraction ,  wafer ,  digital method ,  performance evaluation ,  synchrotron radiation facility ,  synchrotron x-ray diffraction ,  silicon-on-insulator wafer
Semi thesaurus term： photon factory

JST classification (1)： X-ray diffraction methods  (BK01020I)

Terms in the title (6)： 計数型 ,  SOI ,  TEG ,  放射光 ,  X線 ,  評価