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J-GLOBAL ID：201902246366829013   Reference number：19A2440010

窒素雰囲気下の鉄アーク蒸着によって生成した窒化鉄薄膜

Author (5)： HAMAZAKI KAZUKI (東京理大 理) ,  NISHIDA NAOKI (東京理大 理) ,  KOBAYASHI YOSHIO (電通大) ,  KOBAYASHI YOSHIO (理研) ,  YAMADA YASUHIRO (東京理大 理)
Material： KURNS-EKR (Web)  (KURNS Report of Institute for Integrated Radiation and Nuclear Science, Kyoto University (Web))
Issue： 4  Page： 66-70 (WEB ONLY)  Publication year： Apr. 2019 
JST Material Number： U0814B  ISSN： 2434-1088  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： nitrogen ,  atmosphere(environment) ,  ion plating ,  iron ,  nitride ,  iron compound ,  *thin film ,  *magnetic material ,  pulsed laser deposition ,  *arc discharge
Semi thesaurus term： arc evaporation ,  plasma gun ,  iron nitride ,  nitrogen atmosphere

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： 窒素雰囲気 ,  鉄 ,  アーク蒸着 ,  窒化鉄 ,  薄膜